激光摻雜的分類有不同的標難。激光打標機按所用激光的波長成分來分，激光摻雜分為單波長法相雙波長法。單波長法使用單波長的激光束作激光摻雜．它以光熱分解或光化學分解的方式使源物質分解產生雜質原子，同時又對襯底定域加熱．使雜質原子得以摻入。雙波長法是同時使用兩束不同波長的激光實現激光化學摻雜。較短波長的激光常以化學分解的方式性源物質分解產生雜質原子，其強度決定摻入襯底的雜質濃度；波長較長的激光起加熱襯底表面的作用，以控制摻雜范圍。雙波長法可以用兩束激光分別控制摻雜濃度和摻雜范圍，單波長法沒有色差、對準等問題．光路調整方便。
按摻雜所用雜質源來分，激光接雜可以分力氣相激光摻雜利固態雜質源激光摻雜。氣相激光接雜所用的源物質部是氣態物質，通常是由吸階在襯底表面或碰撞在襯底表面的源氣體分子發生光熱分解產生雜質原子。固態雜質源激光摻雜通常是使用源物質的溶液在襯底農面制備固態摻雜膜，摻雜膜作為擴散源．在激光束照射時以光化學分解或光熱分解的方式分解產生雜質原子。氣相激光摻雜的應用范圍廣，但設備復雜、工藝要求高，源材料的貯存、運輸、使用由相對困難一些。固態雜質源的激光摻雜對工藝條件要求較低．所需設備簡單，源材料的貯運也方便，激光打標機但適于作激光摻雜的源材料不像氣相源材料那么多，因而使用范圍有限。

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